1、如今，濕度傳感器已經在工業(yè)生產、環(huán)境檢測等方面得到廣泛應用。干燥的空氣容易產生靜電，對電子芯片、計算機磁盤、紙張、塑料材料等有不利的影響。濕度是在25％RH和60％RH之間是最適合人類生活的環(huán)境。環(huán)境的濕度不僅影響著產品的質量還影響著人類的健康。所以，濕度的檢測和控制在生產生活中有著非常重要的作用。只有開發(fā)高性能的濕度傳感器，才能夠實現對濕度進行嚴格監(jiān)測及控制。
　　由于納米材料具有比表面積大、尺寸和形貌可控等特點，近年來一直受到

2、傳感器研究領域的關注。納米材料制作的濕度傳感器具有響應速度快，靈敏度高等優(yōu)點。CeO2作為一種典型的功能型稀土氧化物，在燃料電池、紫外探測、能量轉換、氧存貯電容、水處理、有機染料去除等領域都有廣泛應用。但是在濕度傳感器領域卻研究比較少，雖然存在對二氧化鈰濕度特性的研究，但是濕度響應、響應時間、恢復時間、重復性等特性都沒有討論。
　　本文首先利用水熱法成功制備高純度的二氧化鈰納米顆粒，利用XRD材料表征結果分析了CeO2晶體結構;具

3、有高純度方螢石結構;利用SEM、TEM等表征觀察材料的形貌:平均粒徑在5nm到10nm之間;利用二氧化鈰納米顆粒制作了濕度傳感器。在33％到97％RH之間，隨著濕度增加，傳感器的靈敏度成指數變化;響應時間從11s增大到64s;從恢復時間從11s增大到34s;電導從5.8E-10S增大到3.8E-8S。此外傳感器體現了重復性好、濕度響應范圍大(11-97％RH)等特點。文章同時用離子導電解釋了傳感器靈敏度指數變化的現象。實驗結果表明用水熱