1、滑閥副是一種利用閥芯、閥套的配合棱邊構成銳緣方孔進行節(jié)流控制作用的執(zhí)行機構，因其優(yōu)良的線性流量輸出性能，在伺服/比例控制閥等高精度控制元件中得到了廣泛應用。疊合量是滑閥副工作棱邊的軸向配合尺寸，作為滑閥副輸出性能的綜合指標，其精度決定著控制系統(tǒng)的響應品質(zhì)。當前工藝水平下，疊合量的加工精度完全依賴于對其測量的準確程度。隨著液壓系統(tǒng)應用的日益廣泛，以往手動測量的方式已不能滿足滑閥副制造的產(chǎn)能及精度需求。研究高精度、高可靠性的自動化疊合量測量

2、系統(tǒng)，成為現(xiàn)階段提高滑閥副制造精度的當務之急。
　　在氣動壓力式測量方法原理分析的基礎上，對壓力式氣動疊合量測量系統(tǒng)進行研究。建立系統(tǒng)數(shù)學模型，基于AMEsim軟件平臺，通過物理模型仿真，分析氣源壓力、溫度、連接氣路結構對系統(tǒng)的壓力響應影響，為系統(tǒng)設計提供理論基礎。
　　研究了系統(tǒng)誤差傳遞路徑，并對氣源壓力波動造成的疊合量測量誤差進行分析，建立了背壓腔測量誤差、轉(zhuǎn)換函數(shù)誤差及疊合量計算誤差模型，分析了氣源壓力波動對測量結果的