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文檔簡介
1、眾所周知,閃存的發(fā)展從容量到速度都超乎人們想象。測試就相應地處在越來越重要的地位,因為產品的發(fā)展使得測試時間越來越長,對測試設備體積和速度的要求也越來越高。測試在半導體行業(yè)中一直是比較昂貴的。測試并不決定或者影響產品質量,所以不會為產品帶來任何附加價值。測試的目的,是通過失效產品以發(fā)現(xiàn)制造工藝中的缺陷,并及時找到補救或者持續(xù)改進的方法以減少對終端客戶的影響或者提高產品生產率。在開發(fā)和測試存儲器件方面,工程師面臨著許多挑戰(zhàn)。要獲得更低的消
2、費價格,就要不斷削減測試成本和時間。從設備而言,動輒上百萬美金的設備不容易進行測試上的升級,而且即使升級價格也非常昂貴,通常為企業(yè)所不取。 本文所研究的TTR方法是基于產品原理的,并不從基本上對測試設備做出任何改進,而是通過軟件的設計方法結合產品工作原理,實現(xiàn)高效準確地完成對產品的質量測試。相對歐美而言,由于存儲器產品的整體發(fā)展程度早于國內所以國外的測試設備和測試方法也比較先進。通過對于產品測試pattern的設計來優(yōu)化測試時間
3、的方法在多種測試方法著作中都有談及,但是由于產品原理不同,所以所應用的優(yōu)化方法也大相徑庭,但是無論如何,測試pattern的優(yōu)化已經成為存儲器乃至整個半導體行業(yè)目前所廣泛采用的測試優(yōu)化方法之課題研究的目標為存儲器測試設備,閃存產品以及測試所用到的測試模版。研究內容是針對產品原理,測試流程和主要的失效模式,并根據測試原理和經驗設計出最優(yōu)的測試模版以達到節(jié)省測試時間提高測試效率的目的由于測試費用昂貴,如何降低測試成本一直是工廠所優(yōu)先考慮的問
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