1、眾所周知，閃存的發(fā)展從容量到速度都超乎人們想象。測試就相應地處在越來越重要的地位，因為產(chǎn)品的發(fā)展使得測試時間越來越長，對測試設(shè)備體積和速度的要求也越來越高。測試在半導體行業(yè)中一直是比較昂貴的。測試并不決定或者影響產(chǎn)品質(zhì)量，所以不會為產(chǎn)品帶來任何附加價值。測試的目的，是通過失效產(chǎn)品以發(fā)現(xiàn)制造工藝中的缺陷，并及時找到補救或者持續(xù)改進的方法以減少對終端客戶的影響或者提高產(chǎn)品生產(chǎn)率。在開發(fā)和測試存儲器件方面，工程師面臨著許多挑戰(zhàn)。要獲得更低的消

2、費價格，就要不斷削減測試成本和時間。從設(shè)備而言，動輒上百萬美金的設(shè)備不容易進行測試上的升級，而且即使升級價格也非常昂貴，通常為企業(yè)所不取。 本文所研究的TTR方法是基于產(chǎn)品原理的，并不從基本上對測試設(shè)備做出任何改進，而是通過軟件的設(shè)計方法結(jié)合產(chǎn)品工作原理，實現(xiàn)高效準確地完成對產(chǎn)品的質(zhì)量測試。相對歐美而言，由于存儲器產(chǎn)品的整體發(fā)展程度早于國內(nèi)所以國外的測試設(shè)備和測試方法也比較先進。通過對于產(chǎn)品測試pattern的設(shè)計來優(yōu)化測試時間

3、的方法在多種測試方法著作中都有談及，但是由于產(chǎn)品原理不同，所以所應用的優(yōu)化方法也大相徑庭，但是無論如何，測試pattern的優(yōu)化已經(jīng)成為存儲器乃至整個半導體行業(yè)目前所廣泛采用的測試優(yōu)化方法之課題研究的目標為存儲器測試設(shè)備，閃存產(chǎn)品以及測試所用到的測試模版。研究內(nèi)容是針對產(chǎn)品原理，測試流程和主要的失效模式，并根據(jù)測試原理和經(jīng)驗設(shè)計出最優(yōu)的測試模版以達到節(jié)省測試時間提高測試效率的目的由于測試費用昂貴，如何降低測試成本一直是工廠所優(yōu)先考慮的問