1、自適應電控液晶透鏡及其陣列作為一種靈巧光學器件，具有體積小、重量輕、功能強、響應速度快等特點，其焦距等光學參量由所施加的電壓控制，調節(jié)方便。因其良好的電控光學特性，在自適應光學、高性能成像探測、光通信、光互聯以及光束整形等領域，具有廣泛的應用前景。 本文第一章簡述了課題背景。第二章介紹了液晶材料特性，詳細分析了向列相液晶的指向矢、介電各向異性、彈性自由能密度以及電光效應等物理性質。在第三章中，根據向列相液晶的物理特征，提出了單元

2、和陣列液晶微透鏡結構并確定了器件參數范圍。以電磁場理論為基礎，利用拉普拉斯差分迭代法，對器件所要求的電場分布進行了計算并圖形顯示。仿真結果與預期效果相符，為器件制作提供了依據。 在第四章中，介紹了制作器件的工藝流程。首先，利用L-edit軟件，設計了用于制作器件電極的光刻版圖；然后通過光刻、顯影、濕法刻蝕等制作了電極結構；通過涂布聚酰亞胺、PI固化以及摩擦等，制作了液晶的定向層結構；最后，經制作液晶結構的隔離介質、加注液晶、器件