MEMS器件設計與優(yōu)化.pdf_第1頁
已閱讀1頁,還剩81頁未讀, 繼續(xù)免費閱讀

下載本文檔

版權說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權,請進行舉報或認領

文檔簡介

1、在已有的工藝技術條件下,設計出能實現(xiàn)特定的應用目的MEMS器件并最終實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化,這是所有MEMS研究的出發(fā)點以及最終的目的所在。MEMG的結構設計與優(yōu)化對于縮短它的研制周期、降低成本、提高產(chǎn)品性能有著極為重要的意義。微加速度計與微夾鉗作為兩種MEMS器件,是最重要的微慣性器件以及微執(zhí)行器,有關它們的結構設計與優(yōu)化研究,對于MEMS功能器件的研究具有典型性。 本文基于玻璃一硅的陽極鍵合技術和ICP深反應離子刻蝕工藝設計一類電容式微

2、加速度傳感器,包括四種不同的結構。該結構采用雙端固支的雙梁或四梁做為支撐梁;在敏感質(zhì)量塊的左右兩邊設計了附加的尾部,同時在尾部設計叉指,將梳齒與“三明治”兩種形式相結合,有效地利用了結構的幾何空間,較大程度上提高了結構的性能。 本文運用有限元方法對所設計四梁電容式微加速度傳感器進行了優(yōu)化設計。嘗試給出了微結構的一般優(yōu)化方法:首先列出所要考察的微結構的性能參數(shù)與幾何模型參數(shù)之間的關系,對于微結構,通常各性能參數(shù)的提高對幾何模型參數(shù)

3、調(diào)整的要求往往是不一致的,甚至是矛盾;然后,針對各種矛盾,在加工條件以及各種約束允許的前提下,提出優(yōu)化方案;之后,選擇相對獨立的性能參數(shù)項作為第一步優(yōu)化的目標,優(yōu)化結果作為已知量帶到下一步的優(yōu)化步驟中去;對于相互矛盾的性能參數(shù)進行優(yōu)化,選定對其有影響的幾何模型參數(shù)作為設計變量(在這里通常是多個幾何參數(shù)),選擇合適的參數(shù)范圍,進行遍歷尋優(yōu)。最終的優(yōu)化結果是相互矛盾的性能指標達到某種折中或平衡,使整體性能指標達到綜合的優(yōu)化。 此外,

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請聯(lián)系上傳者。文件的所有權益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預覽,若沒有圖紙預覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間,僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護處理,對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對任何下載內(nèi)容負責。
  • 6. 下載文件中如有侵權或不適當內(nèi)容,請與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準確性、安全性和完整性, 同時也不承擔用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

評論

0/150

提交評論