超聲電解復合加工在微器件制作中的基礎研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、本文概述了微機電系統(tǒng),介紹了微細制造技術及超聲微細加工和電解微細加工技術的現狀;著重分析了超聲電解復合微細加工用于MEMS器件制造的理論可能,研究了實施超聲電解微細加工的基礎條件.本文創(chuàng)建了超聲電解微細復合加工工藝試驗系統(tǒng).從變幅桿的設計制造,到設計制作不同截面形狀的工具頭(如直徑為φ1mm的圓形工具頭、邊長為1mm的方形工具頭和三角形工具頭),對壓電陶瓷、硬質合金YG8、硬質合金YT15進行了單一超聲加工對比試驗以及對硬質合金進行了超

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