1、多晶硅生產多晶硅生產1、多晶硅薄膜制備工藝研究多晶硅薄膜集晶體硅和非晶硅材料優(yōu)點于一身克服了光致衰退與現(xiàn)有的太陽能電池研究生產技術具有兼容性有可能成為制作太陽能電池的廉價優(yōu)質材料。等離子體輔助化學氣相沉積方法(PECVD)是制備薄膜材料的幾種方法中技術最為成熟、操作較為簡單的一種并且可以制備均勻性高的大面積薄膜。但是采用PECVD方法沉積多晶硅薄膜仍面臨著兩大難題:一是薄膜的晶化率有待提高二是薄膜的生長速率也有待提高。薄膜的晶化率決定電

2、池的性能生長速率決定其成本因此高速制備優(yōu)質薄膜是制作太陽能電池的關鍵。為解決這些問題目前研究人員多致力于沉積條件的優(yōu)化以及如“二次晶化”等輔助手段的采用。本文采用PECVD方法系統(tǒng)研究了沉積溫度、襯底、射頻功率、氫稀釋比、磷摻雜等沉積參數(shù)對多晶硅薄膜結晶狀態(tài)及光電性能的影響并對沉積出的多晶硅薄膜進行了固相晶化............共43頁2、多晶硅薄膜的制備和表征在制備高質量多晶硅薄膜方面做了些探索性的工作通過激光Raman譜和X射線

3、衍射儀(XRD)對熱處理前后的等離子體化學氣相沉積(PECVD)法和電子束蒸發(fā)(EBE)法所制的硅薄膜進行了分析。首先以PECVD法為硅薄膜制備技術實驗取得了如下結果:對PECVD法制備多晶硅薄膜的六個影響參數(shù)的調節(jié)方案是固定五個參數(shù)而調節(jié)余下的一個參數(shù)。其中五個參數(shù)皆有三個對應的可調值:氫氣和硅烷氣體流量比有100sccm1sccm、100sccm5sccm和50sccm5sccm射頻功率有50W、30W和10W襯底溫度有350℃、2

4、00℃和常溫工作壓強有24Pa、48Pa和72Pa而沉積時............共64頁3、太陽能電池用多晶硅薄膜的研究研究了多晶硅薄膜的制備方法，低溫下快速光熱退火(RPTA)和高溫下陶瓷襯底上快熱化學氣相沉積(RTCVD)，硅膜的生長及區(qū)熔再結晶(ZMR)，用高溫方式在陶瓷襯底上做了太陽電池的嘗試，在高溫方式下做了層轉移新方式的探索。1等離子增強化學氣相沉積(PECVD)是低溫沉積硅膜的主要方法。本文的第二章中對PECVD沉積多晶

5、硅薄膜做了研究。分析了不同沉積溫度、襯底、射頻功率、氫稀釋比、磷摻雜等參數(shù)對多晶硅薄膜結晶狀態(tài)及光電性能的影響。2固相晶化法(SPC)是制備大晶粒多晶硅薄膜的主要方法。本文的第三章對SPC，特別是對鹵鎢燈............共160頁4、在柔性襯底上制備多晶硅薄膜的研究主要研究柔性襯底材料上多晶硅薄膜的制備，并對生長過程和薄膜性質進行分析表征。與非晶硅薄膜相比，多晶硅薄膜具有可與晶體硅相比擬的高遷移率，結構和性能穩(wěn)定，沒有嚴重的光致

6、衰減效應，可作為理想的光伏器件材料；另一方面薄膜太陽電池的襯底對光伏器件的性能和應用范圍也有重要的影響，柔性襯底材料具有可卷曲、質量輕、便于運輸、易于大面積卷軸生產以及用途廣泛等優(yōu)點，發(fā)展前景廣闊。因此，在柔性襯底材料上制備多晶硅薄膜具有重要的科學意義和應用前景。分別利用熱絲化學沉積法、等離子體增強氣相沉積法以及金屬誘導法制備硅薄膜，應用場發(fā)射掃描電鏡對薄膜形貌進行觀察，應用激光拉曼譜儀和X射線衍射儀對薄膜結晶性進行分析........

7、....共72頁5、熱絲化學氣相沉積制備多晶硅薄膜的研究主要內容是熱絲化學氣相沉積制備多晶硅薄膜工藝的研究及利用鋁誘導固相晶化法增大晶粒尺寸的研究。采用自行加工設計的HWCVD系統(tǒng)制備多晶硅薄膜系統(tǒng)研究了不同沉積參數(shù)(沉積氣壓、襯底溫度、45、低溫多晶硅薄膜的制造方法46、低溫多晶硅薄膜晶體管及其多晶硅層的制造方法47、多晶硅薄膜晶體管及其制造方法48、多晶硅太陽能電池轉換效率的測試方法49、低溫多晶硅薄膜晶體管及其制造方法50、低溫多

8、晶硅薄膜的制造方法及低溫多晶硅薄膜晶體管51、低溫多晶硅薄膜電晶體的結構52、采用多晶硅柵和金屬柵器件的半導體芯片53、將非晶硅轉換為多晶硅的方法54、03142448.1A低溫多晶硅薄膜晶體管的制造方法55、低溫多晶硅薄膜晶體管的制作方法56、薄膜晶體管的多晶硅制造方法57、多晶硅薄膜的制造方法58、多晶硅層的處理方法59、低溫多晶硅薄膜晶體管的制造方法60、多晶硅層的結晶方法61、低溫多晶硅平面顯示面板62、多晶硅薄膜的制造方法63

9、、形成多晶硅層及多晶硅薄膜晶體管的方法64、形成多晶硅層的方法65、多晶硅的蝕刻方法66、多晶硅襯底和太陽能電池的制備方法67、形成多晶硅結構68、在半導體制程中避免多晶硅縱樑形成的半導體結構69、利用自行對準金屬硅化物制程形成多晶硅電容器的方法70、制備多晶硅的方法71、多晶硅的定向生長方法72、一種在陶瓷襯底上沉積大晶粒多晶硅薄膜的方法73、低溫多晶硅薄膜的制造方法74、多晶硅細脈熔絲75、具有多晶硅薄膜晶體管的平板顯示裝置76、多

10、柵雙溝道結構的多晶硅薄膜晶體管77、一種抑制多晶硅針孔的多晶硅層緩沖局部場氧化硅結構工藝方法78、形成T型多晶硅柵極的方法79、形成具高電阻值的多晶硅薄膜的方法80、多晶硅氫還原爐81、低溫多晶硅薄膜電晶體基板及其制作方法82、低溫多晶硅顯示裝置及其制作方法83、形成多晶硅鍺層的方法84、彩色多晶硅微粒及其制備方法85、以連續(xù)式側向固化法形成多晶硅膜的方法及其光罩圖案86、底柵控制型多晶硅薄膜晶體管的制造方法87、多晶硅化金屬柵極結構及