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文檔簡介
1、光學干涉測量技術是光學檢測領域的一個重要分支,具有高精度、高分辨率和非接觸無損傷等優(yōu)點。數(shù)字全息技術可定量再現(xiàn)三維物光波的相位信息,在成像與檢測等領域具有廣泛應用,是近年來現(xiàn)代光學中備受人們關注的研究領域之一。將數(shù)字全息與光學干涉測量技術結合可以充分發(fā)揮二者的特點和優(yōu)勢。本文根據(jù)數(shù)字全息及光學干涉測量的特點以及數(shù)字全息干涉近年來在光學測量方面的研究進展,開展了雙波長數(shù)字全息干涉及其在光學元件表面面形與光學非均勻性測量方面的研究。主要工作
2、包括:
一、介紹了數(shù)字全息的記錄與再現(xiàn)過程、再現(xiàn)算法;分離軸數(shù)字全息和同軸數(shù)字全息兩種情況;介紹了從全息圖(干涉圖)中提取物光波波前相位分布的方法及相位解包方法。
二、討論了雙波長數(shù)字全息干涉的等效波長及在等效波長范圍內避免相位解包的原理和實現(xiàn)方法,給出了采用雙波長數(shù)字全息干涉測量光學元件表面面形的原理,并進行了計算機模擬實驗和光學實驗驗證。研究結果表明,對于表面面形引起的波前程差小于等效波長的情況,雙波長數(shù)
3、字全息干涉可以直接克服2π相位的不確定性,無需相位解包;對于表面面形引起的波前程差大于等效波長的情況,可以先得到等效波長下的相位分布,然后再對等效波長下的相位分布進行相位解包,這樣可以簡化相位解包過程、提高相位解包算法抗噪聲干擾的能力、擴展相位解包算法的適用范圍。該研究證明了采用雙波長數(shù)字全息干涉測量光學元件表面面形的可行性和優(yōu)點。
三、從經典色散理論出發(fā),首次推導了光學非均勻性與光波長之間的關系,得出在一定波長范圍內不同
4、波長條件的光學非均勻性近似相等的重要結論?;谏鲜鼋Y論,針對現(xiàn)有光學非均勻性測量方法的不足,首次提出了基于雙波長數(shù)字全息干涉測量光學非均勻性的新方法。根據(jù)材料的色散特性并結合相移數(shù)字全息干涉的原理,給出了采用雙波長數(shù)字全息干涉測量光學非均勻性的原理和實現(xiàn)方法,并進行了計算機模擬實驗和光學實驗驗證。研究結果證明了所提出的原理與方法的可行性與正確性。該方法具有如下優(yōu)點:測量原理本身具有系統(tǒng)光路波前畸變自動補償功能,測量過程無需調節(jié)待測樣品,
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