1、基于微機電系統(tǒng)(MEMS，Micro Electro Mechanical Systems)技術的微型加熱器在氣體傳感器、微熱量計、氣體流量計、紅外光源、微小顆粒的收集等領域有較大的發(fā)展空間，微加熱器具有熱量損耗小、加熱功率低、工藝流程簡單、響應時間短、與CMOS工藝易兼容、容易與其他微電子器件集成等優(yōu)點。
　　本文是基于MEMS技術設計并制作了一種薄膜式微型微加熱器。并用COMSOL有限元分析軟件對其性能進行仿真。然后對微加熱器

2、和溫度傳感器的性能進行了測試，最后對他們的應用進行了研究。主要工作內容如下:
　　1、根據(jù)設計的目的完成微型加熱器的結構設計、版圖設計和工藝流程設計，并用COMSOL有限元分析軟件對所設計的微加熱器的結構進行力、熱、電的多物理量耦合分析。最后選擇硼硅玻璃為基底材料，鉑作為加熱電阻材料，根據(jù)工藝流程完成微型加熱器的工藝制作。
　　2、將綁定好的微型加熱器進行性能測試，包括電阻測量、TCR標定、微加熱器的升溫降溫特性等。得到實際

3、電阻與設計電阻有一定偏差，但在誤差范圍之內;經過TCR標定的溫度傳感器可以通過其電阻大小反應微加熱器的溫度值;舉例說明了微加熱器的升溫和降溫特性，并分析溫度和功率之間的關系，R35達到100℃時，功率為187mW。
　　3、通過將微型加熱器放置在微流道的上方實現(xiàn)了顆粒熱泳沉積的溫度梯度場并進行了顆粒沉積實驗，驗證了微流道熱泳沉積現(xiàn)象，實驗結果表明熱泳沉積對比自然沉積提升了203％的采樣效率。
　　4、通過溫度傳感器的電阻變化