1、從低頻段到毫米波頻段，RF MEMS（Radio-Frequency Micro-Electro-Mechanical System）器件具有體積小、緊湊且方便集成的特點。MEMS工藝相比傳統(tǒng)工藝手段提供了精確度為微米級加工，有利于實現(xiàn)高性能的毫米波器件。傳輸線是微波射頻系統(tǒng)中最基本的元件，直接影響整個系統(tǒng)的性能指標。在MEMS技術的幫助下，針對傳統(tǒng)傳輸線結構在高頻段性能惡化嚴重的問題，人們提出了多種新型結構如提升式、重疊式等共面波導結

2、構。這些新型結構在一定程度上改善了傳輸線的微波性能如特性阻抗變化范圍、插損等，但各個結構也具有各自的缺點如集成、加工難度大以及應用范圍有限等，因此在本論文中針對另一種新型傳輸線-薄膜支撐空腔型微屏蔽傳輸線進行分析，得到微屏蔽傳輸線的傳輸特性以及利用其設計濾波器結構、移相單元。本文的主要內容為：
　　1．介紹微屏蔽傳輸線的物理結構，分析信號傳輸的模式，利用保角變換法分析傳輸線的傳輸特性（如特性阻抗、相對介電常數等），分析傳輸線結構參

3、數對傳輸線性能的影響。同時分析加入上屏蔽腔對傳輸線輻射損耗的影響。最后與共面波導傳輸線進行比較，驗證分析微屏蔽傳輸線在插損和色散特性上的優(yōu)勢。
　　2．分析傳輸線的不連續(xù)結構的電氣分布參數模型，利用傳輸線的耦合線結構設計低通濾波器和帶通濾波器結構。設計了25GHz的高低阻抗低通濾波器，通帶內的插損小于0.5dB，阻帶抑制-12.5dB@5GHz；同時設計了兩個45GHz的寬帶帶通濾波器，帶寬為50％，帶內插損小于1dB；針對微屏蔽

4、傳輸線結構設計了傳輸線的MEMS加工流程。
　　3．針對開關線型移相器結構尺寸大的難題，提出了改良型微屏蔽傳輸線結構。利用微屏蔽傳輸線設計了45°的移相單元，通過仿真緊湊型移相單元實現(xiàn)了中心頻率為30GHz的49°移相，插損在1dB以內。
　　4．為了方便微屏蔽傳輸線測試以及與集成電路集成，本論文中設計了微屏蔽傳輸線與 WR10矩形波導之間轉換結構，分析轉換結構傳輸模式的改變，仿真結果顯示在整個W波段轉換結構具有2dB以內的