1、平板顯示屏的檢測(cè)儀器主要包括外觀檢測(cè)儀器、陣列檢測(cè)儀器等。隨著平板顯示屏生產(chǎn)線代次，從6代、7.5代、8代到8.5代的不斷發(fā)展，平板組件的尺寸越來(lái)越大，相應(yīng)的檢測(cè)視場(chǎng)也越來(lái)越大。對(duì)瑕疵檢測(cè)分辨率要求的不斷的提高，靠降低成像鏡頭放大倍率來(lái)擴(kuò)大視場(chǎng)的方法已不能滿足測(cè)量要求。本文依托重大科學(xué)儀器設(shè)備開(kāi)發(fā)專項(xiàng)“平板顯示屏自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)儀器開(kāi)發(fā)與應(yīng)用”，針對(duì)在TFT-LCD精密組裝生產(chǎn)線中，大范圍高精度成像要求，實(shí)現(xiàn)高速高分辨率掃描檢測(cè)。主要研究相

2、機(jī)的選型、鏡頭的設(shè)計(jì)、相機(jī)調(diào)整機(jī)構(gòu)的設(shè)計(jì)、照明系統(tǒng)設(shè)計(jì)和圖像拼接技術(shù)。
　　在TFT精密組裝生產(chǎn)線中，視覺(jué)檢測(cè)采用高分辨率與高靈敏度的成像技術(shù)獲取被測(cè)目標(biāo)的圖像，再經(jīng)過(guò)快速圖像處理與圖形識(shí)別算法，從圖像中獲取目標(biāo)的尺寸、位置、方向和缺陷等信息，從而實(shí)現(xiàn)目標(biāo)產(chǎn)品在檢驗(yàn)、裝配線上的目標(biāo)識(shí)別與鑒定、目標(biāo)定位與裝配機(jī)構(gòu)的引導(dǎo)等任務(wù)。為解決大視場(chǎng)高精度的測(cè)量，本課題采用16k系列線陣掃描相機(jī)進(jìn)行掃描成像，針對(duì)地設(shè)計(jì)M72鏡頭，這個(gè)鏡頭實(shí)現(xiàn)焦