1、光學系統(tǒng)在光學顯微鏡,半導體生產,空間探測等超精密工程領域中得到了廣泛的應用。為了保證光路的準確性,光學元器件不僅需要有很高的面形精度,而且需要高精密的定位系統(tǒng)。本文以光學元器件的高精度定位為應用背景,研究全柔性鉸鏈的Stewart并聯(lián)機器人的結構與致動器設計,主要工作有以下幾點:
　　首先,基于DH方法建立了針對各個支鏈單獨建立了每個支腿的坐標系,將每個支鏈視為一個六自由度的串聯(lián)機器人,分別對每個支鏈求取各關節(jié)的逆解。在此基礎上

2、上,基于虛功原理建立了動力學方程,據(jù)此可以得到柔性鉸鏈的剛度、工作空間及驅動力之間的關系,本章是全柔性鉸鏈的Stewart并聯(lián)機器人的結構設計的基礎。
　　其次,第二、三章中分別根據(jù)運動學與動力學方程求解柔性鉸鏈的范圍要求以及致動器的輸出力與伸縮范圍等設計目標,分別進行柔性鉸鏈與致動器的設計,保證柔性鉸鏈與制動器能夠滿足全柔性鉸鏈的Stewart并聯(lián)機器人工作空間、分辨率、負載能力的要求。
　　最后,分析了全柔性鉸鏈的Ste