1、精密定位平臺作為精密制造與測量、微納米操縱技術、半導體封裝等領域的關鍵技術之一，有著極其重要的應用價值和理論研究價值。隨著科學技術的發(fā)展與進步，各領域對精密定位平臺提出了更高的要求，其中大行程高精度精密定位的研發(fā)已經迫不及待。本文結合自然科學基金設計了一種大行程、高精度的精密定位平臺，對平臺的結構和動力學模型辨識方法以及控制方法進行了研究。論文的主要研究內容如下:
　　(1)在結構設計方面，設計了一種以音圈電機作為驅動器的精密定位

2、平臺。該平臺具有兩個自由度，主要分為基于雙平行四桿機構設計的上平臺和基于虎克鉸鏈的空間支撐機構兩個部分，由螺栓連接，它能夠實現解耦，具有行程大、Z向剛度高和高承載能力等特點。同時結合有限元分析軟件對平臺進行了分析。
　　(2)在辨識方面，首先根據系統存在遲滯特性構建了系統的遲滯模型和系統的動力學模型，然后對遺傳算法的編碼方法、適應度函數以及自適應算子進行了設計，基于實數編碼自適應遺傳算法對系統動力學模型和遲滯模型進行了辨識仿真，最

3、后對定位系統進行了辨識實驗，辨識出系統的動力學參數和遲滯模型參數。
　　(3)在控制方面，由于遲滯嚴重影響了精密定位系統的定位精度，因此本文結合系統動力學模型和遲滯模型設計了前饋滑模控制器，并且在完成控制器設計的基礎上采用dSPACE實時控制卡進行相關的控制實驗，采用前饋PID控制方法與前饋滑?？刂品椒ǚ謩e進行階躍響應實驗與軌跡跟蹤實驗的對比，實驗結果證明本文設計的前饋滑?？刂破鞅惹梆丳ID控制方法在響應時間和定位精度方面效果更好