1、隨著微電子技術以及微機械加工工藝的快速發(fā)展，常用的電子器件例如傳感器等開始向著微小型化發(fā)展。其中皮拉尼真空傳感器，其原理是依靠不同壓強下氣體的導熱量不同來測量氣壓的，廣泛應用于測量真空的系統(tǒng)以及設備中，但氣體在皮拉尼真空傳感器中的導熱規(guī)律尚不明確。分子動力學方法是一種在粒子領域，通過模擬系統(tǒng)中粒子的運動來計算系統(tǒng)的物理量的常用方法，目前已經廣泛應用在微納米尺度物質的熱物性研究。平衡態(tài)分子動力學方法以及非平衡態(tài)分子動力學方法大規(guī)模用于模擬

2、固體材料和流體的導熱特性，以及求解相關物理量。本文采用非平衡態(tài)分子動力學方法對微導熱間隙內氣體的熱導率進行模擬計算，分析與其相關的影響因素及關系，進而在設計皮拉尼真空傳感器時進行理論指導。
　　本文闡述了分子動力學方法的理論基礎和模擬方法，根據皮拉尼真空傳感器的結構特點，建立了氮氣和氧氣在微導熱間隙內的導熱計算模型，運用非平衡態(tài)分子動力學方法，Lennard-Jones作用勢，編寫了適用于LAMMPS軟件的熱導率計算程序，并計算了

3、不同導熱間隙尺寸、不同溫度以及不同壓強下氧氣和氮氣的熱導率。
　　根據皮拉尼真空傳感器的應用范圍以及實際計算能力，本文模擬計算的溫度范圍為300K至700K，導熱間隙尺寸范圍在17nm至102nm，模擬得到了微導熱間隙內氣體的熱導率與其影響因素的關系。結果表明，微導熱間隙內氣體的熱導率明顯小于宏觀條件下氣體的熱導率，氣體的熱導率隨著溫度的升高而增大，與宏觀條件下氣體的熱導率隨溫度變化的變化趨勢一致;微導熱間隙尺寸越小，氣體的熱導率