1、在半導體生產企業(yè)當中，生產設備是半導體企業(yè)進行生產性經營活動的物質基礎。隨著半導體技術在近三十多年中的迅猛發(fā)展，其行業(yè)競爭也在急劇增強。因此，如何管理和使用好這些半導體生產設備，提高生產設備管理水平對提高半導體生產企業(yè)在行業(yè)競爭中的實力和促進企業(yè)進步與發(fā)展都有著十分重要的意義。
　　隨著半導體行業(yè)的不斷發(fā)展進步，對設備管理系統(tǒng)的研究和開發(fā)，也提出了更高的要求。設備管理系統(tǒng)不僅是單純地對設備自身方面的管理，如設備資產折舊管理，設備備

2、件管理等，更需要管理系統(tǒng)和設備的生產運行方面聯(lián)系起來，需要考慮管理系統(tǒng)如何讓設備在生產運行過程中提高使用率，減少不良率的產生，增加企業(yè)效益。并且這些已經逐步成為企業(yè)在當前半導體行業(yè)激烈競爭情況下的普遍要求。論文設計實現(xiàn)的半導體生產設備運行管理系統(tǒng)就是圍繞該主題展開的，該論文通過研究和利用半導體生產設備的日志文件，從日志文件中提取有效的設備運行信息，如PCS(工藝控制系統(tǒng))參數(shù)，設備報警代碼等，以獲取設備實時準確的運行狀態(tài)。通過分析這些狀

3、態(tài)對設備進行有效地維護，使設備始終保持在最佳運行狀態(tài)下運行。并且該系統(tǒng)實現(xiàn)了對設備維修過程的跟蹤記錄，維修升級請求和最佳維修方法的全面管理。實現(xiàn)了半導體企業(yè)在HVM（大規(guī)模生產）模式下對生產設備運行的系統(tǒng)化管理。
　　本文首先介紹了系統(tǒng)中的各項概念，針對系統(tǒng)的各項需求進行了細致的分析，然后按照需求對系統(tǒng)的各個組成部分進行了合理的設計，提前處理了技術中的重點和難點。通過原型設計，功能模塊設計，程序流程設計和數(shù)據(jù)庫設計等，并結合計算機

4、軟件設計相關知識逐步完成了整個系統(tǒng)的設計，并最終實現(xiàn)了一個完備健壯的系統(tǒng)。系統(tǒng)開發(fā)和運行的平臺使用的是微軟的Visual Studio平臺，使用C＃語言進行開發(fā)，另外使用了部分批處理文件對日志文件的處理，數(shù)據(jù)庫使用的是MySQL。由于系統(tǒng)的使用者為企業(yè)員工，包括辦公室和生產線上所有網(wǎng)絡中的用戶，網(wǎng)絡分布分散，為了便于用戶隨時隨地的接入使用，同時為了易于部署和升級，采用了瀏覽器的使用方式。
　　本文研究了半導體生產設備運行智能化的管