1、本文以傅立葉光學(xué)空間頻譜分析原理為基礎(chǔ)，根據(jù)衍射理論，闡述了激光衍射測(cè)量微細(xì)線直徑的方法，確定了有限尺寸的單色平行照明光場(chǎng)內(nèi)細(xì)線衍射光強(qiáng)與細(xì)線直徑之間的關(guān)系計(jì)算公式。搭建了由光學(xué)系統(tǒng)、光電轉(zhuǎn)換設(shè)備及信號(hào)處理設(shè)備組成的夫瑯禾費(fèi)衍射直徑測(cè)量系統(tǒng)。對(duì)比分析了理想細(xì)線衍射圖樣和實(shí)際衍射圖樣之間的差別。分別從圓斑衍射、背景雜散光、CCD器件自身的噪聲、硬件電路固有的高頻噪聲等方面總結(jié)了細(xì)線衍射圖樣畸變的主要原因。建立了圓斑衍射的干擾模型，仿真結(jié)果

2、與實(shí)測(cè)的衍射圖樣基本吻合。通過(guò)對(duì)混有噪聲衍射圖樣頻譜的分析，提出了對(duì)衍射圖樣進(jìn)行FIR低通濾波處理的方法，根據(jù)濾波器技術(shù)指標(biāo)，用MATLAB設(shè)計(jì)了96階FIR濾波器，仿真結(jié)果表明濾波效果很理想?；贔PGA設(shè)計(jì)了衍射圖樣處理的總體方案，通過(guò)采用改進(jìn)的分布式算法實(shí)現(xiàn)FIR濾波器，極大的節(jié)省FPGA資源，利用FPGA內(nèi)部各種邏輯資源設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)了暗條紋的精確提取。
　　 本文采用QuartusII自帶的嵌入式邏輯分析儀對(duì)80μm細(xì)金屬絲