1、隨著加工技術的進步與產(chǎn)品小型化的發(fā)展要求,微型零件的應用領域越來越廣泛,并且對微型零件的材料性能和微型結構的加工質(zhì)量也提出了很高的要求,這就對微型零件制造工藝提出了更高的要求。在微型零件的加工技術中,特別是結構復雜且尺寸小的微型零件加工中,微細銑削加工技術占有極其重要的地位。但是由于微細銑削系統(tǒng)本身屬于剛度較弱的系統(tǒng),很難實現(xiàn)精密級別的微細銑削加工。在常規(guī)尺度銑削過程或者是在非回轉刀具的加工過程中,為了改善加工狀態(tài),提出在切削過程中施加

2、振動輔助的方法,可以改善加工狀態(tài),同樣為了改善微細銑削的加工狀態(tài),在微細銑削過程施加振動輔助的方法,本文就振動輔助對微細銑削加工性能的影響進行研究。
　　一般在切削過程中施加振動輔助分成刀具振動和工件振動兩大類,本文研究的微細銑削的銑刀是采用空氣渦輪高速主軸夾持進行微細銑削加工的,故不能在刀具一側施加振動輔助的效果,所以采用振動輔助工作臺的形式,將振動信號施加在工件一側。本文設計一種非諧振振動輔助系統(tǒng),該系統(tǒng)其主體基于高精度的微小

3、位移柔性鉸鏈機構的振動輔助工作臺,利用壓電陶瓷的精確的動態(tài)響應性能,實現(xiàn)工件上的精確振動動作,并且配有壓電陶瓷控制器、壓電陶瓷冷卻夾持裝置、壓電陶瓷的預緊裝置和激光三角反射位移傳感器等,以便對振動的位移進行精確的控制和檢測。
　　本文將非諧振振動輔助系統(tǒng)與精密微細銑削系統(tǒng)兩者集成,實現(xiàn)非諧振式振動輔助系統(tǒng)和精密微細銑削系統(tǒng)的兼容,為研究振動輔助技術對微細銑削加工工藝的影響打下良好的基礎。
　　本文在對微尺度槽結構進行微細銑削