EUV-X-ray光學(xué)元件傾斜度面形誤差檢測(cè)方法與測(cè)量?jī)x器長(zhǎng)軌面形儀(LTP)的研究.pdf_第1頁(yè)
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1、長(zhǎng)春理工大學(xué)碩士學(xué)位論文EUVXray光學(xué)元件傾斜度面形誤差檢測(cè)方法與測(cè)量?jī)x器長(zhǎng)軌面形儀(LTP)的研究姓名：王春雨申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別：碩士專業(yè)：光學(xué)工程指導(dǎo)教師：耿素杰周長(zhǎng)新20031201ABSTRACTThetechnologyOiltheprocessinganddetectionoftheextrelneultravioletradiationandX—rayfEUV／X—raylopticalcomponentiSoneofthe

2、maincategoriesinmodernshort—wavebandopticalresearchAtpresentEUV／X—rayopticalcomponental’eingreatdemandontheconstructionoftherapidlydevelopedsynchrotronradiantlamp—houseandbeamoflightengineeringindevelopedcountriesNOWfeWc

3、ountrieshastheabilityofdevelopingthiskindofopticalcomponentwithsupersmoothsurfaceandhighprecisionandthekeytechnologyisprocessinganddetectingtechniquehrthispaper，theauthorstudythe111easurenlentmethodandinstrumentoftheEUV／

4、X—rayopticalcomponent，improvethedesignofthemeasuringapparatus—loilgtraceprofiler【j“Ialreadyexisting，provideakindofnewlylongtraceprofilerLTI’一111，whichisusedtomeasnl‘etheslopeerrorAtlastseveralassumptionsareofferedontheim

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