玻璃基光刻鉻掩膜板的膜系研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、　　本文從理論和實驗兩個方面研究了玻璃基光刻鉻掩膜板的膜系設(shè)計以及其在真空環(huán)境中的制備?！　∫怨鈱W薄膜設(shè)計中的隱含規(guī)律為基礎(chǔ)，采用遞推法，并在特定的邊界條件下分別對單層及多層吸收膜的反射和透射變化進行了求解和理論計算。同時，在膜系設(shè)計中，借用EssentialMacLeod軟件進行膜系設(shè)計，以尋求獲得滿意光學性能的膜系結(jié)構(gòu)?！　∥覀冞M行了多次薄膜樣品的生產(chǎn)實驗，并對鍍膜產(chǎn)品進行了一系列性能測試。結(jié)果表明，在分別采用氮氣和氬氣作為工作

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