1、微機電系統(tǒng)(MEMS)是一種典型的多學科交叉的新興高技術產(chǎn)業(yè),已引起了世界各國的高度重視,并成為競相爭奪的技術制高點之一。目前,靜電驅動微結構力學研究主要集中在微梁、板的變形求解,本文首次提出微型圓環(huán)在單點移動的靜電力作用下的動態(tài)性分析與穩(wěn)定性分析,并研究對比了微型圓環(huán)在單點移動直流與交流偏壓作用下的不同特性。
　　在理論推導方面首先求得微結構承受驅動電壓時非線性偏微分方程式,基于微小變形的假設,將非線性的靜電項以泰勒級數(shù)展開(T

2、ayler series expansion)并忽略二次以上高次項,得到結構與靜電耦合線性化運動方程式?；诹﹄婑詈闲?首先探究了靜電力作用下,系統(tǒng)有效剛度系數(shù)的變化。然后分析了微型結構在單點移動的靜電力作用下的動態(tài)特性,分別探討了驅動電壓的大小、頻率以及移動的速率對系統(tǒng)動態(tài)特性的影響。本文所研究的系統(tǒng)為周期性時變系統(tǒng),在系統(tǒng)的動態(tài)特性的計算過程中采用了狀態(tài)分析法與拉格朗日數(shù)值方法進行求解。鑒于系統(tǒng)的動態(tài)特性將隨著驅動電壓的大小和頻率