1、ClassifiedIndex：2250UDO：150SouthwestUniversityOfScienceAndTechnoIogyMasterDegreeThesiSl毛‘6‘6《DevelopmentoftemperingmagnetronsputterlngLowgg／8SST●’1Grade：2007Canddate：GaoChun—senAcademiCDegreeAppIiedfor：MasterSpeciaIty：An

2、ayticaIthemistrySupervsor：ProfDENGYue—quanMar132010西南科技大學碩士研究生學位論文第l頁摘要在現代建筑中，追求大面積采光的玻璃設計成為潮流，然而普通玻璃門窗能耗占整個建筑能耗的40％以上，這與建筑設計的節(jié)能性取向產生矛盾。因此提高玻璃的節(jié)能性能，已經成為如何真正實現建筑節(jié)能的關鍵所在。而近幾年低輻射鍍膜的光學性能、結構、可鋼化性更是逐漸成為新的研究熱點。本文使用Code軟件設計并采用磁控

3、濺射法成功制備了三種可鋼化LowE玻璃，膜系結構分別為：Si3N4CrN。AgNiCrN。Si3N4、Si3N4一SnONiCrO。AgZnOXNiCr0XSnO$i3N4、Si3N4SnO—NiCrO。AgZnO。NiCrO。一TiO，Si，N4，同時分析LowE玻璃的微觀結構、光熱學性能、耐磨性以及耐熱處理性能等。采用AFM分析納米Ag層的微觀結構并從微觀結構解釋阻擋層Cr、NiCr對銀膜的保護作用機理，而且觀察到整個膜層光滑平整，

4、XPS探測到膜層表面物質與設計表層一致；光、熱學性能分析表明，可鋼化LowE玻璃能大量反射紅外線，2500nm反射率高達80％，降低了紫外線的透過率，允許大量的可見光透過，具有良好的光選擇性和節(jié)能性能，并且改用Si3N4作為內外保護層后，增加了復合涂層的硬度和附著力，而且不影響整個膜層光選擇性；經過700。C高溫熱處理分析顯示，本文成功設計并制備出三種符合GBl576322005、GB／T1891522002的要求，具有可鋼化性的Low