1、隨著微米/納米技術的迅速發(fā)展，科學研究的對象不斷向微小化發(fā)展，微小精密機械零件的裝配、微機電系統(MEMS)器件的組裝、單細胞操作、掃描探針顯微鏡等領域中無不存在著微小空間內微小力測量的需求。近年來隨著MEMS技術的迅速發(fā)展，開發(fā)滿足微小空間內微小力測量的精密儀器成為了可能。
　　 針對微空間內微小力測量的需求，本文開發(fā)了一種MEMS壓阻式三維微觸覺力傳感器，研究了該傳感器力特性的標定方法，基于這種微型傳感器建立了一套三維微小力

2、測量系統，開展了微小力測量實驗，論文完成的主要工作包括：
　　 1.設計和加工了傳感器。討論了傳感器的工作原理，建立了傳感器的力學模型，對壓敏電阻的排布位置、尺寸、阻值和連接方式等進行了分析，完成了傳感器的結構設計，采用MEMS硅微加工工藝和超精密機械加工工藝加工制備出了傳感器敏感單元和測桿等關鍵元件，并對傳感器進行了裝配和封裝。
　　 2.對傳感器的力特性進行了標定。采用基于懸臂梁彎曲變形原理獲得標準微小力信號，分析了

3、標定誤差的主要來源及其補償方法，搭建了傳感器力特性標定系統、懸臂梁彈性系數標定系統及傳感器測桿位移特性系數標定系統等實驗裝置，對傳感器的力特性進行了標定，建立了傳感器的力特性方程。
　　 3.構建了三維微小力測量系統?；贛EMS壓阻式三維微觸覺力傳感器，針對微小空間內微小力測量的需求，設計調試了以MSP430單片機為控制核心，包含壓阻信號的調理、采集、顯示和傳輸等功能的硬件電路，編寫了單片機和上位機的軟件程序，構建出了一套三維