HVIC主要器件的分析、模擬與建庫.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、本文對于AIC82103主要器件的結構進行了分析,并用PISCES-II軟件對某些器件的特性進行了模擬。通過分析器件的版圖和縱向圖,確定了各個器件的版圖層次和縱向結構。在此基礎上,分析了各個器件的結構特點。在AIC82103中,尤為突出的是起電平移位作用的LDMOS(橫向雙擴散)管。該器件采用了多種終端技術,包括內場限環(huán)技術,浮置場環(huán)和弱化表面電場技術等。本文所設計的HVIC在工藝上采用ABCD技術,將多種器件如高壓LDMOS、NMO

2、S、PMOS、各種擊穿電壓不等的ZENER管、二極管,電阻,電容等集成在同一芯片上,并保證電路在600V高壓下協(xié)同工作。為將高低壓電路集成在同一芯片上,采用PN結對通隔離技術將連接不同電源電位的襯底隔離開。此外,本文還應用PISCES-II軟件對AIC82103中三個最有特點的器件進行了模擬。通過修改器件的參數(shù),使器件的特性達到電路上的要求。最后,通過分析模擬的結果,確定了部分器件的版圖尺寸,并畫出了器件的版圖。最終的流片結果表明:

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