1、本文旨在設計高功率板條波導CO2 激光器放電電極結構及其水冷裝置。以面積放大理論為基礎，確定板條電極的尺寸，設計符合要求的穩(wěn)定的板條電極結構。根據傳熱學相關原理分析放電區(qū)氣體的溫度分布，計算熱交換系統(tǒng)的相關參數，設計合理有效的電極水冷系統(tǒng)。在以下方面做了深入的研究。 （1 ）以國內外射頻激勵CO2 激光器的研究成果為例，比較了平板波導結構、波導陣列結構的優(yōu)缺點。平板結構以結構簡單、易于實現(xiàn)等特點，在高功率板條波導激光器中得到了廣

2、泛的應用，但隨著激光功率的提高，其器件結構緊湊性受到了限制。 （2 ）推導了平板波導結構的面積放大理論，在確定的溫度分布、氣體配比條件下，計算了激光器的單位面積輸出功率。 （3 ）根據相關的放電理論和面積放大理論確定了放電極間距和放電極板的面積，并設計了一個由四塊鋁金屬電極組成的放電增益結構，此結構簡單、穩(wěn)定、易于實現(xiàn)。為了在上下極板之間得到均勻放電電壓，在上下極板之間并聯(lián)一組諧振電感，可將電壓波動范圍控制在確定的范圍內