1、隨著人們在生產生活中對環(huán)境濕度要求的提高，對環(huán)境濕度的監(jiān)視和控制的要求進一步提高，濕度傳感器越來越受到人們的關注。
　　本文以鋰霞石作為濕度敏感材料，利用鋰霞石溶膠前驅體作為粘結劑，采取厚膜工藝制備了鋰霞石濕度傳感器，并利用X射線衍射（XRD）、掃描電子顯微鏡（SEM）等對制備樣品的物相及微觀組織結構進行了表征。利用交流阻抗分析儀對鋰霞石元件進行了濕敏性能的研究。
　　對鋰霞石溶膠粘結劑進行了熱處理，在熱處理溫度為650℃、

2、750℃和850℃時可以生成鋰霞石。對由鋰霞石和鋰霞石溶膠粘結劑混合的濕敏材料進行650℃、750℃、850℃和1100℃的熱處理并對各溫度制備的樣品進行了微觀結構表征和濕敏性能測試，結果表明濕敏元件中鋰霞石顆粒隨熱處理溫度的升高而變大，鋰霞石顆粒形狀由棱角結構向橢圓轉變。與其他樣品相比650℃的樣品鋰霞石顆粒小、孔隙度高、比表面積大、濕度敏感性高，因此該溫度是最佳的熱處理溫度。而熱處理時間對鋰霞石濕敏元件的濕敏性能影響不大。
　

3、　對純鋰霞石粉體、純鋰霞石溶膠粘結劑和鋰霞石溶膠固含量10％粉體占90%的樣品的濕敏性能進行了微觀結構觀察和濕敏性能測試。純鋰霞石顆粒樣品呈顆粒堆積狀，熱處理后有溶膠生成的鋰霞石占10%粉體占90%的樣品呈有許多小顆粒構成凹凸的三維網狀結構，由純溶膠燒結而成的樣品呈交光滑的三維網狀結構。濕敏性能測量結果表明純鋰霞石粉體制備的樣品與溶膠固含量10%、鋰霞石粉體含量90%的樣品濕敏性能接近。但制備過程中發(fā)現純鋰霞石粉體樣品附著性能較差，容易

4、脫落。因此敏感材料的最佳配方是溶膠固含量10%，鋰霞石粉體90%。
　　對不同顆粒大小的鋰霞石原料制成的樣品進行了適度敏感性能測試，發(fā)現顆粒大小對靈敏度影響不大，而較大的顆?？梢钥s短響應時間。采用薄層涂覆和厚層涂覆兩種工藝制備樣品，與厚層涂覆工藝制備的樣品相比，薄層涂覆工藝制備的樣品，靈敏性好，響應時間短，是較好的涂覆工藝。采用1000Hz、10v電壓的交流電，在98%RH的高濕度環(huán)境下對樣品進行老化。隨著老化時間的增加，鋰霞石濕