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文檔簡介
1、數(shù)據(jù)格式轉換軟件是電子束曝光機不可缺少的輔助工具.該課題的主要任務是研制與新型圖形發(fā)生器相匹配的數(shù)據(jù)格式轉換軟件.該軟件在陳建輝編制的OurCutterV1.0的基礎上,進一步擴展了從cif格式向新型圖形發(fā)生器所特有的DY51數(shù)據(jù)格式轉換的功能.該論文在嚴格定義了DY51的基礎的上,主要分為兩個部分介紹該課題的研究成果.第一部分分析了OurCutterV1.0在圓弧逼近、多邊形自交校驗、尺寸修正、自分割以及束斑分割等功能模塊中存在的問題
2、,并在此基礎上提出了相應的解決方案和算法.進一步完善了各功能模塊,使升級版OurCutterV2.0更具有實用性.這一部分主要包括第二章和第三章.該論文在第二部分介紹了一種為專門二次曲線圖形服務的新的單元圖形——二次曲線單元圖形,并以此為基礎定義了一種兼容二次曲線的中間圖形(Intermediate Shape)及其相對應的文本數(shù)據(jù)格式MGDF.針對這種帶有二次曲線的中間圖形,該文對二維多邊形的集合運算進行了重新定義,并在此基礎上設計出
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