1、鈦酸鍶鋇(Ba1-xSrxTiO3，BST)由于其介電常數(shù)可通過外加電場來調節(jié)(即介電可調性能)，從而成為微波調諧器件的重要材料，并獲得廣泛的研究。本論文利用改進溶膠凝膠(Sol-gel)法制備系列BST薄膜，重點研究了標準計量比和非標準計量比的釔(Y)摻雜、錳(Mn)摻雜、Y和Mn復合摻雜及梯度濃度摻雜結構薄膜，及其對BST形貌、結晶及介電性能的影響。主要結果如下：
　　 1.研究了標準計量比和非標準計量比的Y、Mn單一摻雜及

2、復合摻雜的BST薄膜，利用原子力顯微鏡(AFM)、X射線衍射(XRD)對薄膜表面進行了分析，薄膜表面形貌和結晶較好；介電測試表明，復合摻雜薄膜有較好的綜合介電性能，非標準計量比薄膜有較低的介電損耗和較好的穩(wěn)定性，是研究的發(fā)展方向。
　　 2.研究了Y、Mn復合摻雜梯度的標準計量比和非標準計量比的BST薄膜，利用XRD、AFM對薄膜進行分析，上、下梯度摻雜薄膜表面形貌良好，上梯度結構最佳。介電測試表明，梯度結構有利于介電損耗進一步