1、激光掃描是激光技術的一個非常重要的應用領域。高慣性激光掃描系統(tǒng)具有良好的線性，準確度高，頻率可延伸到10～100Hz，現(xiàn)已廣泛采用在各種光機電系統(tǒng)中。采用多面棱鏡掃描時，相對于雙面鏡在系統(tǒng)中引入的誤差小。激光掃描要求掃描像高與光束入射角成線性關系，即y=f·q，所以大多數(shù)激光標刻機采用F-Theta鏡的掃描系統(tǒng)，其中F-Theta鏡的光學性能很大程度上決定了掃描面積的大小。大工作面積的F-Theta鏡通過引入相對較大的負畸變來保持像高與

2、入射角的線性關系，同時容易造成光能量利用率低的問題。
　　 激光標刻系統(tǒng)是綜合了激光技術和計算機技術的光、機電一體化系統(tǒng)，具有巨大的發(fā)展?jié)摿蛷V闊的市場前景。目前國內用于激光標刻機掃描鏡頭的工作面積一般不超過300mm×300mm。在對激光標刻技術要求日益提高的今天，鏡頭掃描面積如果過小，將會成為一項技術瓶頸。
　　 本文對大工作面F-Theta鏡頭的光學設計理論和思想作了具體闡述，通過對激光掃描系統(tǒng)的分析，得出合理的參