1、隨著非球面光學(xué)元件的設(shè)計(jì)和加工技術(shù)的發(fā)展，對(duì)非球面光學(xué)元件的面形及其參數(shù)的檢測提出了更高的要求。在已有高精度檢測儀器的條件下，一方面要研究適合具體工件類型的新的檢測方法，擴(kuò)展儀器的檢測范圍以充分發(fā)揮檢測儀器的功能；另一方面要盡可能分析并降低檢測儀器的誤差，以提高檢測的精度。　　對(duì)非接觸式檢測，本文在介紹用干涉儀檢測非球面的基本原理的基礎(chǔ)上，歸納了干涉法檢測非球面的幾種方法以及常用補(bǔ)償器的類型，以單透鏡補(bǔ)償器為例詳細(xì)闡述了補(bǔ)償器的設(shè)計(jì)和

2、精度分析，同時(shí)還指出部分補(bǔ)償透鏡的思想可以簡化補(bǔ)償器的設(shè)計(jì)?！　?duì)接觸式檢測，本文以檢測口徑小于120mm的TalysurfPGI輪廓儀為基礎(chǔ)，詳細(xì)分析了輪廓儀在檢測中的誤差因素，推導(dǎo)出了輪廓儀檢測二次旋轉(zhuǎn)軸對(duì)稱非球面時(shí)，各項(xiàng)誤差對(duì)測量面形影響的傳遞系數(shù)方程，得出測量坐標(biāo)系與工件坐標(biāo)系間的不重合誤差對(duì)測量面形誤差的影響隨被測口徑、頂點(diǎn)曲率的絕對(duì)值以及坐標(biāo)系間的定位誤差和方向誤差的增大而增大的結(jié)論?！　∮米约壕帉懙腗atlab程序模擬