1、風洞，作為空氣動力學研究最基本也是最重要的工具之一，它對模型測試數(shù)據(jù)的精確性直接影響著模型的后續(xù)研究。模型表面壓力測量是風洞試驗中最基本也是最重要的試驗之一。壓力傳感器作為風洞試驗中模型表面壓力測量的重要工具，其技術(shù)指標的提升就顯得非常有必要。本文主要對測量范圍為0-100kpa的擴散硅絕壓傳感器進行研究。
　　 本文首先對MEMS技術(shù)進行了簡要介紹，引出MEMS傳感器技術(shù)的發(fā)展現(xiàn)狀；同時對目前風洞試驗中常用的模型表面壓力測量方

2、式進行詳細介紹，提出本次設(shè)計絕壓傳感器的必要性；
　　 接著對硅壓阻式壓力傳感器的工作原理進行分析。通過對感壓薄膜的力學結(jié)構(gòu)的分析與比較，實現(xiàn)傳感器結(jié)構(gòu)的改進。采用ANSYS軟件進行有限元模擬，并從模態(tài)分析、諧響應(yīng)分析、瞬態(tài)結(jié)構(gòu)動力學三個方面對傳感器彈性元件的動態(tài)特性進行了研究，得出設(shè)計的傳感器彈性元件有良好的動態(tài)響應(yīng)特性。
　　 然后研究了如何用ANSYS軟件實現(xiàn)彈性元件的結(jié)構(gòu)優(yōu)化，通過建立傳感器彈性元件的力學模型、優(yōu)