1、由于強激光、航空航天和天文觀測等項目的發(fā)展，國內迫切需要多臺大口徑干涉儀檢測系統(tǒng)中所用到的光學元件。對于強激光系統(tǒng)中的光學元件，其面形質量常用分頻段分析的方法來評價。其中，低頻段的誤差使用波前梯度均方根評價參數；中頻段的誤差使用波前功率譜密度評價參數。這些參數均需通過干涉儀測得的波面結果計算獲得。這就要求大口徑干涉儀有良好的系統(tǒng)傳遞函數。
　　 本研究為了標定課題所研制的600mm大口徑近紅外干涉儀對空間頻率的傳遞能力，尤其針對

2、滿足強激光系統(tǒng)要求的光學元件中高頻段面形誤差的檢測要求，首先使用標準臺階相位比較法檢測了大口徑干涉儀的系統(tǒng)傳遞函數，分析了影響檢測結果的因素。實驗測得大口徑干涉儀在0.2 line/mm空間頻率處，系統(tǒng)傳遞函數值優(yōu)于60％。因此，其具有對中頻段誤差的檢測能力，滿足對強激光系統(tǒng)所用光學元件的檢測要求。其次，標準臺階相位比較法檢測干涉儀系統(tǒng)傳遞函數時需要精確獲知臺階面的高度信息。因此，分析研究了白光干涉顯微鏡測試臺階高的方法。在金相顯微鏡的

3、基礎上設計并構建了Mirau型白光干涉垂直掃描系統(tǒng)，使用PZT作為移相器推動被測件做軸向掃描，使用空間頻域算法處理白光干涉信號，獲得被測件臺階面的臺階高。實驗測得臺階高為125.6nm，結果與使用ZYGO NewView7200型輪廓儀的測試結果相吻合。最后，研究了頻域面形評價參數和波面濾波的計算方法，編寫了波前梯度均方根和波前功率譜密度的計算程序。此外，通過窗函數法設計數字濾波器，實現了對波面的低通、高通、帶通和帶阻濾波。根據對模擬波