采用等離子體浸沒注入方法對材料進行改性的研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、等離子體浸沒注入是近年來興起的一種新型的材料改性手段。相比于傳統(tǒng)的束線離子注入技術,等離子體浸沒注入克服了視線效應的限制,具有注入效率高、對三維物體處理能力強、與集成電路工藝相兼容的特點,在金屬材料、高分子材料、陶瓷材料等的改性方面具有廣泛的應用前景。我們主要參與了等離子體浸沒注入設備部分的搭建工作和后期的調(diào)試、故障的處理方面,且對若干種材料進行了等離子體浸沒注入的改性工作,并分析表征了注入前后樣品各種性質(zhì)發(fā)生的改變。另外,使用相關軟件

2、進行了一些模擬工作。
　　 使用等離子體浸沒注入設備對AISI316不銹鋼進行了注N的工作,并分析了注N前后316不銹鋼在抗點蝕性能上發(fā)生的變化,探討了點蝕電位提高的原因,并提出了一種新的說法。
　　 使用等離子體浸沒注入設備對AISI304不銹鋼進行了注N的工作,分析了注入后的樣品與注入前相比，在抗點蝕性能上的變化。并且利用XRD、XPS、SIMS等各種表征手段對變化的原因進行了分析。
　　 使用等離子體浸沒注

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