干涉條紋圖像的空域處理與應(yīng)用研究.pdf_第1頁(yè)
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1、在傳統(tǒng)光學(xué)冷加工中,常采用光圈(N)和局部光圈(△N)這些數(shù)字指標(biāo)來(lái)表征光學(xué)平面元件的面形偏差。但是,到目前為止,主要是靠有經(jīng)驗(yàn)的檢驗(yàn)員通過(guò)樣板法目視判讀以獲得以上數(shù)字指標(biāo),判讀速度和準(zhǔn)確度均難以滿足日異擴(kuò)大的市場(chǎng)需求。因此,把圖像傳感技術(shù)、計(jì)算機(jī)控制和和數(shù)字圖像處理技術(shù)相結(jié)合,將是新一代高效率、高精度、自動(dòng)化干涉條紋數(shù)字指標(biāo)判讀的最佳解決方案。
   本研究以計(jì)算機(jī)圖像處理為基礎(chǔ),首次實(shí)現(xiàn)了國(guó)標(biāo)GB2831-81規(guī)定的判讀干涉

2、條紋方法,首先采用澤尼克多項(xiàng)式和基于樣板檢驗(yàn)方法,通過(guò)設(shè)置參數(shù),模擬得到干涉條紋和國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)樣板光圈圖,并對(duì)傳統(tǒng)的光機(jī)型干涉儀進(jìn)行了圖像采集系統(tǒng)的改造,采集干涉圖樣,針對(duì)干涉圖樣本身的特點(diǎn),對(duì)傳統(tǒng)的八鏈碼方法進(jìn)行改進(jìn),得到單像素的光滑干涉條紋,最后利用本文研究的算法對(duì)圖像進(jìn)行結(jié)合國(guó)標(biāo)GB2831-81的自動(dòng)判讀,并與理論值進(jìn)行比較,得到算法的精度與誤差。通過(guò)大量的數(shù)據(jù)表明,本文所研究的算法能對(duì)干涉圖像的光圈(N)和局部光圈(△N)實(shí)現(xiàn)綜合

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