SID關鍵制造技術的研究.pdf_第1頁
已閱讀1頁，還剩62頁未讀， 繼續(xù)免費閱讀

下載本文檔

版權說明：本文檔由用戶提供并上傳，收益歸屬內容提供方，若內容存在侵權，請進行舉報或認領

文檔簡介

1、本文首先介紹了靜電感應晶體管SIT作用機理，在此基礎上系統分析了材料參數、工藝參數和結構參數與器件電性能的關系。對各種特性間的制約關系做了適度的參數調節(jié)，對器件的版圖進行了優(yōu)化調整，而且配合新版圖，設計了相應的工藝方案，通過單項試驗，得到了相應工藝的最佳條件；對于外延層必須達到的工藝參數，提出了一系列減小或抑制外延過程中擴散效應和自摻雜效應的工藝措施和方案，使外延層質量有了明顯的提高；為了切斷柵極和源極(或陰極)之間在外延過程中形成的連

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無特殊說明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請聯系上傳者。文件的所有權益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網頁內容里面會有圖紙預覽，若沒有圖紙預覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經權益所有人同意不得將文件中的內容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間，僅對用戶上傳內容的表現方式做保護處理，對用戶上傳分享的文檔內容本身不做任何修改或編輯，并不能對任何下載內容負責。
  • 6. 下載文件中如有侵權或不適當內容，請與我們聯系，我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準確性、安全性和完整性, 同時也不承擔用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

評論

0/150

提交評論