1、微集成光子器件是光子芯片的重要組成部分。光子集成是指在一個普通的平面襯底上制作和集成許多光子元件。這些元件包括分光器、光柵、耦合器、偏振器、干涉儀、光源和檢測器等。在這個基礎上制作成一個功能塊，許多這樣的功能塊集成起來可以實現(xiàn)更復雜的功能，如光通訊系統(tǒng)、儀器和傳感器等。它的傳輸媒介是光子，所以具有高速、大容量、抗電磁干擾性強等優(yōu)點。本論文討論的是兩種微集成光子器件：光子晶體濾波器和微流體光波導傳感器。 本論文提出的基于耦合模式理

2、論和傳輸矩陣法的理論模型可以快速的找出各個參數(shù)對光子晶體濾波器和光柵性能的影響，從而可以對它們的性能進行優(yōu)化。本論文還提出兩種技術(shù)來抑制光子晶體濾波器的旁瓣，啁啾技術(shù)和優(yōu)化級聯(lián)技術(shù)，理論上這兩種技術(shù)的邊模抑制比能達到30dB。與切趾技術(shù)相比這兩種方法簡單有效的抑制了旁瓣，并且在控制濾波器帶寬和陡峭邊沿上有很大的靈活性，在工藝上易于實現(xiàn)。 微光子器件和微流體器件合成做成微流體光器件，一方面可以集成生物化學傳感器，待測物通過流體運送

3、到高靈敏度微光子器件進行分析，另一方面微流體控制微光子器件，使微光子器件可控、可調(diào)、可重組。本論文首先對微流體光波導的傳輸及損耗特性進行了測量與討論，接著設計了基于微流體光波導的傳輸型傳感器和吸收型傳感器?；谫渴挪▊鬏斕匦缘膫鞲衅?，尺寸大小為3cm×3cm，探測折射率靈敏度為△S/△C=275μm2 L/mol?；跇悠肺仗匦缘膫鞲衅?，尺寸大小為3.5cm×3cm，rhodamin6G的探測極限濃度是5×10-9mol/L(0.5n

4、g/mL)，Mathylene blue的探測極限是5×10-8mol/L(0.16ng/mL)。與固體波導傳感器相比，由于流體既是樣品的承載者，又是光學測量的主體，使用上更加靈活和方便，而且液體波導傳感器的靈敏度相同但尺寸減小。傳輸型和吸收性傳感器結(jié)構(gòu)上是一樣的。傳輸型可用于高濃度樣品測量，吸收型適用于低濃度樣品測量。同一個芯片可以同時滿足不同的測量需要，這是固液型傳感器做不到的?；谖⒘黧w光波導的雙Mach-Zenhder干涉儀可以