1、北京郵電大學博士學位論文長波長可調諧WDM解復用光接收集成器件及其關鍵制備工藝的研究姓名：王興妍申請學位級別：博士專業(yè)：電磁場與微波技術指導教師：任曉敏20060422北京郵電大學博士學位論文摘要3我們利用選擇性濕法腐蝕，成功地制備出了IIlP／空氣隙的分布式布拉格反射鏡(DBR)，并且首次將該反射鏡結構引入諧振腔增強型(RCE)光探測器：所制備的具有InP／空氣隙DBR結構的長波長RcE光探測器，在波長1585“m處獲得了約545％的

2、峰值量子效率，其半峰值寬度(FWHM)約68nm，以及8GHz的3dB響應帶寬，3V反偏壓下暗電流僅為2nA，臺面面積為50斗m50肛m。并在此基礎上，結合特殊圖案透明歐姆接觸微結構，首次實現了高速、高效入光耦合的RCE光探測器；該器件的響應速率得到了顯著的提高，在上述相同臺面面積的情況下，獲得了18GHz的響應帶寬。4研究了InP基材料系的可控自推移動態(tài)掩膜濕法刻蝕技術。首次提出并研究了HCl／m／Cr03溶液對與InP襯底晶格匹配的

3、InyGalvAslxPx(X_O，O2，04，06)材料的選擇性腐蝕。在In，GalvAsl。Px外延層上制備出表面的均方根粗糙度小于165nm、傾角從05。到49。的各種楔形結構。為研制新型111P基集成光電子器件提供了新的結構自由度和工藝手段，該研究成果已申請了一項新的發(fā)明專利。5結合上述的低溫晶片鍵合技術與InP基楔形結構制備技術，首次實現了高速、窄線寬、可調諧的長波長“一鏡斜置三鏡腔”光探測器。在此單一集成器件中，同時獲得了7