激光調阻的阻值關系研究及其控制策略分析.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、本論文分析了影響激光調阻精度的因素，確定應用優(yōu)化調阻控制策略的方法提高調阻精度，而優(yōu)化調阻控制策略的前提是準確掌握刻蝕路徑對阻值的影響，共探討了五種研究方法：物理模型法、保角映射法、電阻細分法、數(shù)值法和實驗法，通過分析這五種研究方法的優(yōu)缺點及研究可行性，確定應用“電阻細分法”研究單一縱向刻蝕路徑對阻值的影響，應用“數(shù)值法”研究I-cut和L-cut對阻值的影響，應用“實驗法”研究單一縱向刻蝕路徑、I-cut和L-cut對阻值的影響，進而

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