1、碳納米管后生長方法作為一種Top-Down手段，被廣泛地應用在碳納米管結構組裝領域，也是目前納米技術研究的主要內容之一。而自組裝技術(SAMs)作為Bottom-Up手段的重要內容，在碳納米管結構組裝中也占有重要的一席之地。碳納米管以其優(yōu)異的力學、電學特性，隨著碳納米管材料在生長、操縱等技術方面取得的重大進展，使其最有希望成為下一代構筑納機電系統(Nano-Electromechanical System，NEMS)的納米材料，以碳納米

2、管為敏感結構的NEMS器件設計和研究成為納米技術領域研究的重點和熱點。為了實現碳納米管的有序、可控、規(guī)模化的結構組裝，為碳納米管NEMS器件提供可行的敏感結構組裝方法和工藝，本論文側重于將上述兩種方法相結合開展碳納米管結構組裝實驗研究。 首先對碳納米管的結構和制備方法進行研究。不同制備方法生長的碳納米管材料質量有所不同，實驗前需要進行必要的提純和羧基化處理。處理后的碳納米管容易制備成分散溶液，供后續(xù)定向和定位排布實驗之用。對碳納

3、米管的分散溶液的流變特性和電學特性做了深入研究。本章是后續(xù)實驗研究的理論基礎。 自組裝技術是構建納米結構的有效手段。分別對氨基自組裝膜(Aminopropyltriethoxylsilane，APTES)和甲基自組裝膜(Octadecyltrichlorosilane，OTS)進行了研究，發(fā)現兩種不同極性的自組裝膜對碳納米管具有不同的吸附性能。論文由此提出了微壓印和自組裝相結合進行碳納米管選擇性吸附的實驗方案，為后續(xù)的定位排布實

4、驗提供依據。 實驗采用了氣體驅動流體方法進行定向排布實驗。利用設計的實驗裝置，開展了定向排布相關的實驗內容。采用該方法可以實現大規(guī)模碳納米管定向排布。作為對氣體法定向排布的補充，還開發(fā)了一種新型的碳納米管定向排布實驗方法，即旋轉排布方法。通過對硅片基底進行必要的表面處理，旋轉法可以有效地改善碳納米管定向排布實驗效果。 在碳納米管的選擇性吸附實驗基礎上，借助微壓印技術，開展了碳納米管的定位排布實驗研究。不同極性的自組裝膜可