1、微硅傳感器是傳感器的發(fā)展趨勢，隨著技術(shù)的發(fā)展，將微硅傳感器和測試電路集成在一塊芯片上構(gòu)成微機電系統(tǒng)更是受到廣泛的關注。本文的目的就是研究與設計單片微硅電容加速度傳感器讀出電路中頻變脈沖寬度調(diào)制模塊。 脈沖寬度調(diào)制是利用脈沖的周期不變，改變脈沖的寬度從而使脈沖的占空比發(fā)生變化達到調(diào)制的目的。脈沖寬度調(diào)制在工業(yè)控制、開關電源等領域中有廣泛的應用。本文中的脈沖寬度調(diào)制是在脈沖頻率變化，而將脈沖的高電平寬度固定，同樣使脈沖的占空比發(fā)生變

2、化以達到調(diào)制的目的。這種方法應用在電容加速度傳感器讀出電路中還是新的思路。 本文介紹了幾種電容加速度計的讀出電路，分析了利用脈沖寬度調(diào)制設計電容加速度計的讀出電路的可行性，其思路是將加速度計做成振蕩器，當加速度變化引起電容量的變化時，振蕩器的輸出頻率也隨之變化。對頻率變化的脈沖進行寬度調(diào)制，通過低通濾波就可以輸出頻率變化量，也就可以得到相應的加速度值。 整個脈沖寬度調(diào)制電路分調(diào)制和解調(diào)兩塊。在調(diào)制部分，利用九管單相時鐘D

3、觸發(fā)器構(gòu)成計數(shù)器，并由此組成了脈沖寬度調(diào)制電路，同時給出了在典型溫度下的仿真結(jié)果；在解調(diào)部分，介紹了低通濾波器從無源到有源的設計方法，設計了三階切比雪夫低通跨導電容濾波器，同樣給出了相應的仿真結(jié)果；最后，作為將脈沖寬度調(diào)制電路和濾波器作為整體電路，以脈沖調(diào)頻波為輸入進行了仿真，取得了令人滿意的結(jié)果。 標準CMOS工藝作為數(shù)?；旌霞呻娐返闹髁鞴に?，隨著CMOS技術(shù)的發(fā)展，具有廣泛的市場前景，本文就是在在CSMC0.6μm標準CM