1、磁懸浮軸承是一種典型的機電一體化產品，是利用磁力作用將轉子懸浮于空中的一種新型高性能軸承。與傳統(tǒng)軸承相比，具有無接觸、無摩擦、壽命長、能耗低、噪聲小、無需潤滑等優(yōu)點，實際應用越來越廣泛。本課題研究的目的是，解決傳統(tǒng)軸承型分子泵應用在半導體制造行業(yè)時出現轉速低、壽命短、真空不潔凈等問題，設計分子泵的磁懸浮軸承結構和功率放大器，對實現分子泵在半導體工業(yè)中的良好應用有著重要的意義。
　　首先綜合考慮了分子泵體積小、磁軸承散熱條件不好的特

2、點，設計了分子泵磁懸浮軸承的結構，選擇了軸承鐵芯的材料，設計了磁極的布置、槽的形狀、磁極數目和線圈纏繞方式。
　　其次，為了得到最佳結構參數，對分子泵磁軸承結構參數進行了優(yōu)化設計，建立了磁軸承結構設計優(yōu)化模型，以磁軸承體積最小為優(yōu)化目標，以線圈溫升小于允許溫升和承載力滿足載荷要求等為約束條件。
　　最后闡述了功率放大器的工作原理和特性，在分析了目前開關功率放大器所采用的調制技術、比較了各種調制技術優(yōu)缺點的基礎上，設計了脈寬調