1、本論文是在國家科技部集成光電系統(tǒng)973項目的支持下，于北京大學微米/納米加工技術國家重點實驗室完成的。 本文設計的一種全新的射流陀螺——MEMS射流角速率傳感器，首次將MEMS技術應用于射流角速率傳感器的制作。射流角速率傳感器是利用氣體射流束在哥氏力作用下發(fā)生偏轉的現象來檢測角速度的，器件內部沒有可動的機械部件，抗過載和抗沖擊能力非常好。然而，到目前為止，文獻中所報道的射流角速率傳感器都是采用傳統(tǒng)的機械陀螺加工方法制作的，體積和

2、成本難以進一步降低，限制了其應用范圍。文中首次提出了采用MEMS生產技術來對射流陀螺進行微型化這一研究思路，本文所設計的MEMS射流角速率傳感器不僅具有抗沖擊和抗過載的特點，而且還將具有體積小、重量輕、功耗低、成本低的優(yōu)點，將極大的擴展射流陀螺的應用領域。 本文設計的MEMS射流角速率傳感器是以熱線流速計理論和射流泵理論為基礎，采用MEMS工藝在硅襯底和玻璃襯底上制作的。文中對其結構設計和工作原理進行了詳細的論述，并用有限元分析