1、LB膜作為超薄潤滑膜有望解決磁記錄、MEMS/NEMS等高新技術中運動部件的摩擦磨損問題。LB膜作為薄膜潤滑成功應用于工程實際的兩個關鍵難點是設法提高其負荷承載能力、熱穩(wěn)定性和提高膜基結合強度。 而自組裝技術不受基底材料和形狀的影響，適合于大面積組裝，是一種簡單制備納米潤滑薄膜的有效方法。 本論文主要涉及到以下兩方面的工作： 一、結合LB技術制備ZrO<,2>潤滑薄膜的研究結合LB技術在單晶硅表面制備了致密的Zr

2、O<,2>薄膜，AFM測試表明所制備的Zr02薄膜表面形貌與層數(shù)呈現(xiàn)明顯的對應關系。LB膜層數(shù)為7時，薄膜由粒徑大約為30納米的致密顆粒組成，沒有明顯的裂紋存在，表面致密均勻，形貌均一。在LB膜層數(shù)為1時，所得ZrO<,2>薄膜表面由稀疏顆粒組成；而當層數(shù)達到50時，相應的Zr02薄膜表面凸凹不平，呈現(xiàn)明顯的多層堆疊。XPS測試表明：薄膜表面除了少量的硫酸鋯鹽外，主要成分為ZrO<,2>。摩擦磨損實驗表明：利用該方法制備的ZrO<,2>

3、薄膜適于在低載荷，低滑動速度下作為減摩抗磨保護涂層。在潤滑初始階段，磨損機理為輕微擦傷，而較長磨損時間后，磨痕表面呈現(xiàn)較嚴重的塑性變形，表、現(xiàn)為擦傷和剝落的特征。 二、結合LB和自組裝技術制備La<,2>O<,3>潤滑薄膜的摩擦學研究 分別結合LB和自組裝技術在羥基化的Si表面成功制備了氧化鑭薄膜。我們對兩種樣品分別進行了AFM表征。可以看出，結合LB技術制備的氧化鑭薄膜的表面形貌與所提取LB膜的層數(shù)呈現(xiàn)一定的對應關系。

4、隨著所提拉花生酸鑭LB膜層數(shù)的增加，薄膜表面顆粒密度逐漸增大。而結合自組裝技術制備的氧化鑭薄膜的表面形貌均勻，薄膜表面由致密均勻小顆粒組成，但伴有少量團簇顆粒存在。XPS元素分析表明：兩種薄膜均由La<,2>O<,3>構成。摩擦磨損試驗結果表明，利用這兩種方法制備的薄膜均表現(xiàn)出優(yōu)異的減摩耐磨性能，具有低的摩擦系數(shù)和長的耐磨壽命。并結合磨痕的SEM圖像探討了兩種薄膜的摩擦潤滑機理。我們對這兩種薄膜分別進行了歸屬，認為結合LB技術制備的薄膜