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文檔簡介
1、當人類第一次睜開眼睛的時候,自然賦予人類的光電探測器“眼睛”,就這樣開始工作了。第一個真正意義上的光電探測器是在光電效應提出之后制作出來的。與日俱增的市場需求促使光電探測器的研究快速發(fā)展,例如軍用設備市場強勁需求導致紅外探測的研究和生產快速增長。微電子工藝技術和新材料的迅猛發(fā)展,使得光電探測器的探測范圍從紫外到紅外區(qū)域均有大量相關的研究和應用。但是,為了獲取更好的性能,更寬的探測范圍,研究人員集中精力致力于提高器件性能。本文將著重討論如
2、何采用拓撲絕緣體材料和采用表面等離子共振增強技術制備新型高性能可見——近紅外光電探測器,具體內容如下:
1.拓撲絕緣體是一類內部絕緣,表面呈現(xiàn)金屬特性的材料,該材料表面對旋光有響應,基于以上特性考慮用拓撲絕緣體碲化銻制備光電探測器。本文是采用分子束外延的方法制備拓撲絕緣體碲化銻薄膜,并利用ARPES,XRD等方法表征碲化銻薄膜,發(fā)現(xiàn)所制備的碲化銻薄膜單晶性能良好。采用微電子加工工藝制備基于該材料的近紅外光電探測器。通過半導體測
3、試系統(tǒng)的電學表征發(fā)現(xiàn),利用該撲絕緣體制備的近紅外光電探測器具有很高的光電導增益、光響應,分別達到27.4,21.7AW-1。
2.表面等離子共振技術是采用金屬納米顆?;蛘呤茄趸锛{米顆粒修飾器件的表面,當尺寸滿足一定條件的時候,可以增強器件對光的吸收,從而提高器件的性能。本文首先采用化學氣相沉積法制備碲化鋅納米線,并用水熱法將一部分納米線修飾金納米顆粒,將修飾前后的碲化鋅納米線制備成光電導型的綠光探測器。通過光電表征分析發(fā)現(xiàn),
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