1、釔系高溫超導(dǎo)體替代了鉍系高溫超導(dǎo)發(fā)展為第二代高溫超導(dǎo)帶材，其具有廣闊的應(yīng)用前景和巨大的開(kāi)發(fā)潛力。采用低成本的化學(xué)法制備出高性能、高質(zhì)量以及可重復(fù)性能好的釔系超導(dǎo)薄膜是科技工作者所追求的目標(biāo)。但是，要實(shí)現(xiàn)工業(yè)化生產(chǎn)，還有許多問(wèn)題需要解決?，F(xiàn)有的化學(xué)溶液法制備YBCO薄膜大都采用高氟含量的三氟乙酸溶液法(TFA-MOD)，該工藝的缺點(diǎn)是在熱分解過(guò)程中會(huì)釋放出大量的腐蝕性的含氟氣體，影響薄膜的質(zhì)量，所以降低溶液中的氟含量對(duì)制備高性能的薄膜具有

2、重要意義。為了獲得高的臨界電流，提高薄膜的厚度是必要手段。
　　為了降低工藝成本，提高生產(chǎn)效率并保證YBCO超導(dǎo)薄膜的性能有所提高，本研究對(duì)一系列工藝參數(shù)(熱處理時(shí)間、熱處理溫度、氧分壓等)進(jìn)行優(yōu)化，通過(guò)研究前驅(qū)液中Y、Ba、cu的最佳離子比例，降低氟含量，增加薄膜厚度等方法成功制備出性能良好的YBCO超導(dǎo)薄膜，并得出以下結(jié)論：
　　(1)采用H2O2工藝替代昂貴的精密氣體流量計(jì)設(shè)備為熱處理過(guò)程提供O2，通過(guò)控制雙氧水水浴溫

3、度，能將氧分壓控制在100-300ppm之間，這種方法獲得的氧氣活性高，簡(jiǎn)單易操作且價(jià)格低廉，所制備出的YBCO薄膜性能良好，更加有助于產(chǎn)業(yè)化發(fā)展。
　　(2)通過(guò)研究前驅(qū)溶液中離子配比，初步確定了在740℃，127.15ppm的熱處理?xiàng)l件下使YBCO超導(dǎo)性能比較好的最佳離子比為1.1：2：3.9，Jc高達(dá)4.37MA/cm2(77K，0T)。
　　(3)通過(guò)降低前驅(qū)溶液中的氟含量，制得F：Ba=2：1的前驅(qū)溶液，樣品的Jc

4、高達(dá)5.97MA/cm2，F(xiàn)：Ba=4：1時(shí)，樣品的Jc也達(dá)到了5.27MA/cm2(77K，0T)。
　　(4)單層厚膜研究中，通過(guò)添加10wt％PVP，使得單層薄膜厚度超過(guò)了600nm，Jc為1.21MA/cm2。但是PVP添加量受到限制，不利于繼續(xù)增加薄膜厚度。
　　(5)在多層厚膜研究中，二層膜厚度僅有453nm，薄膜內(nèi)部有少量a軸晶粒，但Jc達(dá)到2.3MA/cm2；五層膜厚度為1.195μm，薄膜內(nèi)部基本全是a軸晶