1、光柵刻劃機(jī)的結(jié)構(gòu)復(fù)雜，對(duì)工作環(huán)境要求嚴(yán)格，對(duì)各種環(huán)境振動(dòng)因素的敏感度較高，很微小的振動(dòng)也會(huì)對(duì)加工精度造成巨大的影響，因此隔絕這種有害的振動(dòng)特別重要;本文研究了在各種環(huán)境振動(dòng)因素下，光柵刻劃機(jī)的微振動(dòng)隔振平臺(tái)的動(dòng)力學(xué)問題，并且構(gòu)建了隔振平臺(tái)的固連式結(jié)構(gòu)模型，對(duì)光柵刻劃機(jī)的微振動(dòng)隔振平臺(tái)進(jìn)行了動(dòng)力學(xué)分析。
　　(1)分析影響光柵刻劃機(jī)隔振平臺(tái)的環(huán)境微振動(dòng)因素，對(duì)微振動(dòng)的特點(diǎn)進(jìn)行討論，提出環(huán)境振動(dòng)因素下隔振平臺(tái)的模型。
　　(2)

2、介紹了一些環(huán)境振動(dòng)隔振技術(shù)，對(duì)比了三種主要的隔振技術(shù)優(yōu)缺點(diǎn)，以及各種隔振技術(shù)的設(shè)備等;根據(jù)光柵刻劃機(jī)的隔振平臺(tái)結(jié)構(gòu)，將結(jié)構(gòu)進(jìn)行簡化處理，建立了微振動(dòng)隔振平臺(tái)被動(dòng)隔振的離散化模型，在此基礎(chǔ)上，對(duì)比了兩種微振動(dòng)隔振平臺(tái)結(jié)構(gòu)，即分散結(jié)構(gòu)和固連結(jié)構(gòu)模型，根據(jù)輸入的激勵(lì)得到的響應(yīng)，確定固連結(jié)構(gòu)可以達(dá)到有效的減振。
　　(3)在環(huán)境振動(dòng)和被動(dòng)隔振技術(shù)下，對(duì)等效的單質(zhì)點(diǎn)雙層隔振平臺(tái)模型進(jìn)行了振動(dòng)分析，得知微振動(dòng)隔振平臺(tái)僅僅采用被動(dòng)隔振裝置，遠(yuǎn)遠(yuǎn)

3、達(dá)不到設(shè)備所需的精度條件，因此提出了采用主被動(dòng)隔振相互結(jié)合的混合隔振機(jī)制的固連結(jié)構(gòu)式的微振動(dòng)隔振平臺(tái)。
　　(4)基于Udwadia-Kalaba理論對(duì)光柵刻劃機(jī)隔振平臺(tái)進(jìn)行動(dòng)力學(xué)研究，在環(huán)境振動(dòng)和混合隔振技術(shù)基礎(chǔ)上，建立微振動(dòng)隔振平臺(tái)離散化模型，其單質(zhì)點(diǎn)為雙層隔振模型，最終提出了一種基于系統(tǒng)約束的U-K理論，建立了微振動(dòng)隔振平臺(tái)的數(shù)學(xué)模型，并通過MATLAB仿真得到其主動(dòng)隔振的控制力。
　　本文分析了影響微振動(dòng)平臺(tái)的環(huán)境因