1、使用磁控濺射方法制備了一系列金屬介質(zhì)多層膜.對(duì)于不同的金屬和介質(zhì)膜材料的結(jié)構(gòu)和光學(xué)性質(zhì)進(jìn)行了分析,在此基礎(chǔ)上,主要研究了TiO<,2>/Ag/TiO<,2>多層膜的光學(xué)和電學(xué)性質(zhì).對(duì)于TiO<,2>/Ag/TiO<,2>多層膜結(jié)構(gòu)光學(xué)性質(zhì)的研究具有實(shí)際應(yīng)用價(jià)值,主要在光學(xué)顯示領(lǐng)域獲得大量應(yīng)用,因此研究工作主要集中在可見(jiàn)光波段,對(duì)多層膜的透射譜特性進(jìn)行測(cè)量和分析.采用不同金屬和介質(zhì)材料制備了"介質(zhì)/金屬/介質(zhì)"多層膜結(jié)構(gòu),比較它們的透射譜

2、,發(fā)現(xiàn)使用Ag和TiO<,2>組成的多層膜結(jié)構(gòu)能在可見(jiàn)光區(qū)獲得最高的透射率.實(shí)驗(yàn)中,測(cè)量了TiO<,2>/Ag/TiO<,2>多層膜結(jié)構(gòu)的透射譜,與單層TiO<,2>/襯底、Ag/TiO<,2>/襯底、以及單層Ag/襯底結(jié)構(gòu)的透射譜進(jìn)行了比較,對(duì)金屬介質(zhì)周期結(jié)構(gòu)對(duì)多層膜整體透射性能的影響進(jìn)行了研究.當(dāng)改變Ag層厚度時(shí),測(cè)量發(fā)現(xiàn)多層膜樣品的透射率和透射峰的位置都隨Ag層厚度而有顯著變化,而多層膜中兩層TiO<,2>的厚度在幾個(gè)納米范圍內(nèi)的

3、變化對(duì)樣品整體透射譜的影響較小.試驗(yàn)中,選擇合適的Ag和TiO<,2>層厚度,可以使得TiO<,2>/Ag/TiO<,2>多層膜在500-700nm的可見(jiàn)光范圍內(nèi)透射率超過(guò)90﹪.研究中嘗試獲得了與TiO<,2>/Ag/TiO<,2>多層膜品質(zhì)常數(shù)有關(guān)的各膜層最佳厚度.如上所述,改變多層膜中Ag層和TiO<,2>的厚度,會(huì)同時(shí)改變樣品的透射率和面電阻.以Ag層為例,增加Ag層厚度,使得多層膜的面電阻降低,但同時(shí)透射率也隨之降低.所以可將