1、三維物體形貌光學測量技術具有測量速度快、分辨率高、非接觸、適應性強、自動化程度高、成本低等優(yōu)點，在工程設計、數(shù)控加工、工業(yè)快速成型、產品質量檢測、計算機輔助設計、人體測量、醫(yī)學診斷等諸多領域獲得了廣泛的應用。 電子散斑干涉測量技術是光學測量技術的一個重要分支。電子散斑干涉測量利用條紋分析實現(xiàn)形變的無損測量，具有非接觸、全場性、精度高的特點，近二十年來已成為變形場測量的重要方法。電子散斑干涉測量技術通過在被測物體表面產生干涉條紋(

2、載頻調制條紋)，分析位移場與物面高度之間的關系，可測量物面的形貌。該方法基于光的干涉，測量靈敏度高。電子散斑面形測量技術基于傳統(tǒng)的電子散斑干涉技術，具有電子散斑干涉技術的一系列優(yōu)點。 本文就基于邁克爾遜光路的電子散斑干涉結合傅里葉變換法用于物體形貌測量進行了研究與討論，主要內容是： 1.介紹了散斑的成因、產生方法及相關概念；回顧了散斑干涉計量的起源于發(fā)展；系統(tǒng)介紹了電子散斑干涉的原理及散斑干涉中的位相測量技術。

3、2.回顧了物體形貌測量的發(fā)展過程，介紹了幾種形貌測量的方法，重點介紹了投影柵線和傅里葉變換法相結合測物體形貌。 3.討論了偏轉法實現(xiàn)電子散斑干涉場的載頻調制原理和傅里葉變換法解調原理。通過傅里葉解調可以獲得物體變形的全場位相，從而獲得變形場。 4.提出了電子散斑干涉載頻調制測量物體形貌的方法。采用典型的邁克爾遜干涉光路，將物體偏轉一微小角度(等效為物面與參考面間形成空氣楔)產生等厚干涉，可在物體的表面引入包含物體高度信息