1、非球面光學零件在現代光學系統(tǒng)中得到了廣泛的應用，因為在光學系統(tǒng)中，非球面能夠改善像質，減少鏡片數量，實現光學系統(tǒng)小型化和輕量化。在實際工程應用領域對非球面光學元件提出了相應的技術指標要求，比如說非球面口徑、相對口徑、面形誤差、輕量化、加工效率和生產成本等。其中實際加工誤差尤為重要，在非球面加工的每個階段，需要使用合適的檢測方法實現可靠的面形測量，其中在非球面粗磨階段，非球面面形誤差常在數十微米，因干涉法雖然精度高，但動態(tài)范圍小，無法使用

2、干涉法檢測，且粗磨階段，元件因表面粗糙無法反射。使用接觸式坐標測量方式能夠解決上述問題，是非球面研磨與拋光前期面形測量的主要手段，所以研究高精度的非球面輪廓測量儀具有重要的意義。
　　本文針對非球面面形測量的問題，研究了非球面輪廓測量的方法，主要工作包括如下幾個方面：
　　1、介紹了常用的非球面檢測方法，分析了輪廓儀檢測非球的設計思路和技術要求；
　　2、詳細分析了三坐標輪廓儀的測量誤差，完成了誤差去除數學模型；