1、微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)器件已成為21世紀(jì)的一個(gè)標(biāo)志性技術(shù),可靠性是一個(gè)重要的發(fā)展瓶頸。微懸臂梁是MEMS器件中最典型的結(jié)構(gòu),也是機(jī)電耦合的關(guān)鍵元件,裂紋的存在會(huì)導(dǎo)致結(jié)構(gòu)動(dòng)力學(xué)特征的改變,而在結(jié)構(gòu)中引入孔縫能夠提高壓阻MEMS懸臂梁傳感器的靈敏度。本文主要對裂紋微懸臂梁機(jī)電耦合系統(tǒng)的動(dòng)力學(xué)特性以及通過引入應(yīng)力集中區(qū)域(SCR)提高壓阻懸臂梁傳感器的靈敏度進(jìn)行了研究。本文的主要內(nèi)容和結(jié)論如下:
　　(1)采用余弦波裂紋呼吸模型,考慮壓

2、膜阻尼效應(yīng),建立了單自由度靜電驅(qū)動(dòng)裂紋微懸臂梁的動(dòng)力學(xué)模型,分析了裂紋對剛度及固有頻率的影響,靜電力引起的裂紋梁的剛度軟化,以及裂紋微梁的非線性動(dòng)力學(xué)行為。
　　(2)基于Euler-Bernoulli理論,采用無質(zhì)量轉(zhuǎn)動(dòng)彈簧模型模擬裂紋,考慮壓膜阻尼效應(yīng),建立了靜電驅(qū)動(dòng)裂紋微梁連續(xù)體模型和動(dòng)力學(xué)方程。分析了不同邊界條件下,裂紋位置及開裂程度對固有頻率的影響,分析了不同結(jié)構(gòu)參數(shù)和系統(tǒng)參數(shù)對微懸臂梁靜態(tài)位移、固有頻率、自由振動(dòng)和受迫